
置于 2F×2F 的面积内,能在相同芯片面积下将单元密度提升约 30% 至 50%。新技术面临的主要挑战是材料变革。通道材料为降低漏电流并提升数据保持能力,已从硅转变为铟镓锌氧化物(IGZO)。此外,三星原计划用钼(Mo)替代氮化钛(TiN)作为字线材料(指用于制作存储器中字线的导电材料),但因钼具有腐蚀性且固态处理困难,需对气体输送系统进行改造,目前该材料仍在评估中。广告声明:文内含有的对外跳转
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发布时间:00:35:19
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